诺易研发生产的三相交流高精度可编程测试电源，专为半导体行业设计，光刻机对电源的要求远超普通工业设备，电压的稳定性直接影响光刻图案的转移精度。产品通过确保从千伏级到毫伏级电压的精确控制，保证光源能够在长时间运行中保持一致的能量输出，从而确保光刻工艺中的图案精度，避免因电压波动导致的成品缺陷。
三年来，产品已成功在武汉、成都、南京、上海、深圳等地的半导体公司投入使用，得到客户高度评价。
性能优势精确稳压能力强电压稳定度达 ±0.2%，频率稳定度高达 ±0.001Hz，确保光刻设备即使在极限边界工况下也能稳定运行。
支持多种电网标准模拟设备可模拟全球不同国家和地区的电压与频率制式（如 220V/50Hz、110V/60Hz 等），满足光刻设备“全球通用”的测试需求，适配国际市场。
谐波与电能质量扰动注入功能支持叠加可控谐波、电压暂降/骤升、频率漂移等复杂扰动，实现真实电网异常场景的仿真，为电能适应性设计提供实验依据。
适用于精密设备长期运行验证
该电源亦可作为长期稳定电源，支持高精度设备运行，保障设备在高精度加工、微纳制造等复杂工况下维持性能一致性。
核心特点电压稳定度： 0.2%，确保设备运行稳定。
频率稳定度： 0.001Hz，极致精确，适应高精度设备需求。
电压可调范围： 0-520V可调（可扩展至35kV），支持单相电压独立调整。
频率可调范围： 40-400Hz，灵活适应不同电网环境。
三相相位角调整： 0-360°，支持精确电源控制。
支持定制：电压、频率可按需定制。
为确保半导体光刻设备在全球市场的电力环境中稳定运行，高精度可编程测试电源无疑是不可或缺的验证工具。它不仅为设备提供稳定的供电保障，实现从研发到应用的高质量交付。如需了解更多技术细节或获取定制化解决方案，欢迎与我们联系。
